技术摘要

洁净室和干燥室的建筑花费和运行费用取决于其空间大小。因此，有必要进行空间的有效利用，设备的省空间化也极为重要。但是，若只追求如何省空间，设备的操作性和保养性就会变差。我们在实现保持保养性的省空间化方面，也拥有很多成功范例。