技术摘要

普通的保洁室能防止0.5μｍ的污染物，但电池制造工序中的污染物比之要小很多。即使得到和半导体设备同样的洁净效果，也无法达到电池设备要求的洁净程度，还无谓地增加了成本。我们拥有可以用于防止电池设备污染物的保洁技术和经验。