技术摘要

这种技术可以防止从累积的膜片上一张一张取出时发生两张粘连。粘连的原因主要是“边缘的胶水粘连”、“吸取时两张膜片之间为真空状态”、“剥离产生的静电”等几种。把防止此类情况的装置嵌入吸取部位，就能尽量防止两张粘连。此外，还装备了检测粘连的传感器，可以有效防止万一发生粘连后膜片流向下一工序。