技術概要

クリーンルームやドライルームは、建設費用だけでなくランニングコストも大きさによって大きく変わります。そのためできるだけ面積の有効活用が必要となり、装置に対する省スペース化が重要になります。しかしながら、省スペースだけを追い求めると操作性やメンテナンス性の悪い装置になってしまいます。メンテナンス性などにも配慮しながら省スペース化を実現した実績が豊富にあります。