技術概要

単にクリーン対策機器を用いて装置を設計するのではなく、コンタミが発生しない、しても拡散したり　ワークには付着しないようにトータル的にクリーン対策を行います。また、設計や製造に加え装置の梱包、輸送、搬入についても細心の注意を怠りません。必要なクリーン度は確保しながらコストは抑えられるようメリハリをつけた設計を心がけてながら、液晶、半導体、精密機器の分野等でクラス１０から１００００まで各種対応をしています。