技術概要

単純な真空チャンバや炉だけでなく、真空チャンバー内で稼働工程を有する機構や液体を塗布する装置など、多数の経験があります。真空ポンプ、配管、バルブ等の真空専用機器、部品についても豊富な知識を有しています。